篤。
篤。
指尖敲击显微镜外壳的声音,在死寂的车间里显得格外突兀。
主屏下方,那一抹针尖大小的暗红色热斑,在0.5微米的晶格边缘缓缓晕开,像是一块洁白丝绸上渗出的血。
“红斑……”
李副部长猛地凑近,呼吸喷在屏幕上,带起一层薄雾。
“是漏电短路,线宽太窄,现有的化学湿法药水只要一淋下去,电路会瞬间崩塌熔断。”
专家组组长嗓子嘶哑,颓然地放下记录本,整个人像老了十岁。
“这片晶圆,废了。”
“谁说要用湿法了?”
程美丽抬眼,目光越过屏幕,冷冷地扫向车间角落。
那里,一台覆盖著厚重油布的旧机器,正像个铁疙瘩一样缩在阴影里。
“启动等离子体干法蚀刻。”
“不行!”
专家组长失声叫了出来。
“那台老机器是六十年代的產物,射频功率低得离谱,连最基本的等离子体密度都打不出来,强行上机只会烧焦晶圆!”
程美丽没理他,反手扯掉白大褂,露出里面利落的工装,大步走向那台旧机器。
“功率不够,就给它加个『心臟』。”
她单手撑住机器外壳,意识深处,系统面板爆发出刺目的金光。
无数复杂的电磁拓扑结构瞬间灌入脑海。
程美丽转身看向陆川。
“陆川,带人把这台机器拆了,我要重新绕制超导线圈。”
“所有外层屏蔽罩,全部敲掉。”
陆川没有半句废话,回身一招手。
“特卫局一队,拿工具,动手。”
叮噹!哐!
沉重的金属外壳被撬槓强行掀开,砸在地上激起漫天灰尘。
陆川拎著巨大的液压剪,单膝跪地,將那些缠绕在一起的老旧漆包线乾脆利落地绞断。
程美丽站在一旁,手里抓著铅笔,在简陋的木板上飞快勾勒出新的线圈排布。
“按照这个夹角,三路並联,手动绕制。”
她看向满头大汗的工人们,语调冷硬得像冰。
“今晚,这台机器必须活过来。”
凌晨三点。
轰——!
基地大门被两辆盖著绿色帆布的重型卡车撞开。
东北材料厂的老大哥们跳下车,满脸冰渣。
“程工!您要的高纯度特种气体到了!”
“从沈市机场连夜调的,一路没熄火!”
陆川亲自上前,单手卸下沉重的气瓶,抗在肩上,稳步走向车间。
气瓶对接,线圈入位。
“上电!”
程美丽一掌拍下闸刀。
嗡——嗡嗡嗡!
整台机器爆发出野兽般的低吼,改造后的线圈周围,空气似乎都因为极强的电磁场而產生了扭曲。
蚀刻舱內,一抹幽紫色的等离子体辉光陡然亮起,像是一朵盛开在钢铁深处的曼陀罗。
“亮了……等离子体真的激发了!”
技术员颤抖著记录下数值。
然而。
咔嚓!
一道刺眼的电弧猛地从高压接头处窜出,像毒蛇般扭动。
“磁场波动异常!等离子束偏移了!”
“它在往晶圆核心区偏!要烧了!”
警报声悽厉地响起。