咔噠。
配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下,露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。
那双戴著脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐,针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。
嗤——!
一缕肉眼不可见的微量凝固气体,顺著管道內壁,无声无息地飘向了光刻机核心车间。
车间內,刺目的白光照亮了整个操作台。
高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液,顺著高压微管,稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。
“滴胶。”
程美丽清冷的声音在车间內响起。
一滴粘稠的原液精准滴落。
“启动旋涂。”
嗡——!
旋涂机的真空吸盘死死锁住晶圆,主轴开始高速旋转,发出平稳的低鸣。
金黄色的胶体在离心力的作用下,如同一层完美的薄膜,迅速向晶圆四周铺展开来。
李副部长和几名核心专家屏住呼吸,死死盯著上方悬掛的雷射平整度检测仪。
红色的扫描光束在晶圆表面来回穿梭。
滴!
大屏上的数据疯狂跳动,最终死死卡在一个数字上。
0.05微米。
“不行!”
技术组长急得满头大汗,一拳砸在金属护栏上。
“误差卡在0.05微米下不去了!这个平整度根本达不到euv光源的点火標准!”
程美丽站在操作台前,目光锐利地锁定在高速旋转的主轴底座上。
“机器没问题,是配重。”
她双手快速在键盘上敲击,调出主轴的震动波形图。
“新配方的胶体粘度太高,主轴原有的震动频率產生了微共振。”
“停机。”
嗡鸣声骤停。
程美丽大步走上前,纤细的手指直接点在主轴左侧的金属卡扣上。
“拿配重铅块来。”
“在这里,加0.5克,微调动平衡。”
两名高级技工满头大汗地衝上来,用医用镊子夹著极小的铅块,精准卡入指定位置。
“重新点火旋转!”
主轴再次咆哮著提速。
就在这最关键的瞬间。
头顶的百叶窗內,一股极度微弱的异样气流悄然捲入车间。
滴滴滴滴!
雷射检测仪猛地爆发出悽厉的红色警报声!
“怎么回事!”
李副部长惊恐地抬起头。
大屏上,原本平滑的胶体三维扫描图上,肉眼可见地鼓起了一层密密麻麻的微小突起。
“有颗粒!”
检测员尖叫出声,声音里透著绝望。
“胶体表面发生未知凝固反应!刚铺好的涂层要报废了!”
整个车间的空气瞬间凝固,所有人的脸色煞白如纸。
陆川站在操作台侧后方,鼻翼微动,深邃的眼底猛地爆开一团骇人的杀机。
化学凝固剂的微弱气味。
他右脚重重蹬地,修长的身躯化作一道残影,直接扑向墙边的环境控制柜。
砰!
他一拳砸碎防护玻璃,狠狠拉下最顶端的红色拉杆。
“锁死通风口!”
他头也不回地怒吼,声音如炸雷般劈开车间的恐慌。
“启动军用级內循环净化系统!”
轰——!
四台重型净化风扇同时爆发出狂暴的轰鸣,巨大的吸力瞬间將车间內的残余空气强行抽离。
但涂层表面的凝固颗粒已经形成。
“毁了……全毁了……”技术组长双腿发软,死死扒著操作台边缘。
“闭嘴!”
程美丽厉喝一声,半步未退。
意识深处,系统面板瞬间亮起刺目的金光。
她双手重重拍在操作台上,十指化作残影,疯狂敲击工业键盘,直接绕过机械保护程序。
底层控制代码被她强行撕开一条缺口。