第131章 ‘点光’测试
带着感光芯片回到平江后,康驰又重新投入到了繁忙的工作中,同时出于优先级考虑,相机的事情也只能往后排。
时间一天天过去,距离何永说的一个月改良期限也越来越近了。
终于,在11月13号的这天,何永的电话打过来了。
“设备已经改造完毕,正在做实验前的最后检查工作,预计15号就可以开始进行测试了。”
“嗯,我明天过来,这段时间辛苦你们了。”
两人随后简单地聊了几句便结束了通话。
随后康驰重新梳理了大唐重工的研发工作,确定在没有他的情况下,项目也能正常推进,然后便开始动身前往常春。
两天后,常春光所的洁净实验室内,dpp-euv光源项目组的研究人员,都已经全副武装地坚守在各自的岗位上,进行着测试前最后的一遍检查工作。
康驰此时也站在控制室,隔着玻璃看着里面那台体积和普通卧室差不多大的光源设备,内心同样充满期待。
只要把光源搞定了,那他光刻机的研制进度,最少能暴涨三分之一。
加上平江已经组装完毕的镜片制造设备,以及正在攻关的工件台。
euv光刻机三大件合体调试时间,已经是指日可待了。
何永对设备的主要参数,以及实验条件进行最终核对后,走到了康驰的身边,尽量压沉音量道:“各项参数都已经核查无误,可以开始了。”
“那就开始吧。”
“嗯!”
这次的实验主要分两个阶段进行,
第一阶段只对设备进行通电,然后喷锡气,测试磁场是否能够和预想中的那样,把锡气给一丝不落地吸到废料收集器中。
随着何永开始实验命令下发后,实验室内外的工作人员立即开始行动了起来。
设备通电,磁场加压……
随着屏幕上的数据疯狂跳跃,数字最后定格在了三千高斯。
这个磁场强度,和可控核聚变几十万高斯的磁场强度显然没得比,但两者的体积和目的不同,其实没啥可比性,
对于euv光源来说,只能要约束住等离子体和锡液碎屑就行了,再高的强度也只是浪费电而已。
“第一次喷射准备,喷射!”
随着工作人员按下按钮……似乎啥也没发生。
嗯,这不是火箭发射,人根本就不可能通过肉眼,看到锡气的喷射……
在用激光击打锡液的lpp方案中,为了产生稳定而高功率的光源,需要每秒发射5万次的激光,并且次次命中锡液。
而在dpp方案中,则是通过正负极的通电‘点火’频率来实现,技术难度简单很多,同时因为光电开关的频率提升难度小,功率的提升空间就非常大了。
真正的限制,是锡气的喷射频率。
受限于物理结构,目前能做到喷射频率只有每秒2万次。
既然不能提高喷射频率,康驰就直接大力出奇迹,提高每次的喷射量,每喷一次就电它个五次甚至十次,最大程度地把锡转换成等离子体。
反正有磁场约束,不怕气体、碎屑和等离子体在电击中乱飞。
即便如此,每秒2万次的频率也很夸张了。
只能通过高速摄像机和各种分析仪器,回放实验数据,才可能观测到实验的结果。
过了十分钟,测试的分析结果就出来了。
“未发现锡元素外泄,全部锡气在0.8秒后冷凝成液态,顺利进入废料收集器!”
听到分析员语气激动地念出结果,所有人的脸上都露出了喜悦的神色。
这说明支撑这套设计方案中,最重要的磁场设计是可行的!
所有人都已经能感受到,那胜利曙光照射在脸上的那丝暖意了!
何永深吸了口气,压抑住内心的激动,沉声道:“继续下一个环节,10秒连续喷射。”
然后,
10秒,30秒,1分钟,10分钟,30分钟!