第126章 改良方案
计划归计划,该拆的设备还是得拆。
不过康驰也不用把它拆得非常零散,只需要把几个模块给分开就行了。
反正这玩意拆了外壳,谁也不认不出是什么东西。
由于工作量比较大,康驰只能在东阳又多停留了一周,
同时在拆解休息的时候,他还抽空看了看常春光所的euv设计图,把图纸都给吃透得差不多了。
在光刻机的euv光源中,有两个相对成熟可靠的方案,即dpp和lpp方案。
这两个方案,其实原理都是差不多的,就是利用锡转换成等离子体的过程中,可以释放出极紫外光,
区别只是dpp是用电击锡来激活,lpp是用激光二次打击锡液激活。
按照华国的一贯风格,自然是啥都要试试,
所以目前这两个方案,分别由常春光所、魔都光所负责研发。
其中魔都光所的lpp方案,进展其实是最快的,据说功率已经达到了188w,转换效率为3.7%,基本能够进入实用化了。
但lpp方案中所需的脉冲大功率二氧化碳激光器,依然没有攻克,目前只有m国和岛国能够生产,和euv光刻机一样有钱也买不到。
所以虽然阿斯麦的euv光刻机,用的就是这个方案,算是给华国指明了方向,但因为专利壁垒和禁售,挑战反而更大。
反观dpp方案,则可以避开专利壁垒,同时它的前景也更大,因为它是直接将电能转化为等离子体能,光源结构简单,随着技术成熟相对容易提升功率,
如果能把同步辐射光源的加速器小型化,那么dpp方案也将会有更大的应用前景。
这也是康驰选择常春光所dpp方案的主要原因。
在吃透了常春光所的图纸,并分析出了他们目前遇到的困难和技术缺陷后,康驰又了几天的时间,对这套方案进行了改良设计,然后把硬盘交给了陈海,让他安排人送到常春去。
当何永收到硬盘,得知康驰已经对方案完成了改良设计后,忍不住掏出手机,确认了一下日期。
“这才过了十天,你确定他把图纸看明白了?”
负责送图纸的赖庆雷摇了摇头:“抱歉,我只是个送图纸的,技术层面的东西我也不知道,不过我觉得康博士应该不至于开这种低级玩笑。”
“是吗?”何永冷笑道,“我怎么觉得他老爱开玩笑。”
接过硬盘后,何永也忍不住立刻回到办公室,好奇地打开里面的图纸,想看看康驰所谓的改良方案是真是假。
打开第一张整体结构图,何永一眼就看出,这和他们原本的设计有很大的区别。
所以,他真对设计图进行了改良?
而从消化图纸,到完成改良设计,他仅仅只用了十天?!
先不说改良的方案到底行不行,光是这个效率,就让何永感到有些难以置信。
短暂的惊讶过后,何永便把设计图放大,仔细分析起了里面的改变,眉头也逐渐开始皱了起来。
“磁场约束?”
看着包裹着两个电极的麻状线条,何永总感觉似乎在哪里看过类似的设计结构……
没看出什么名堂的何永,试着根据康驰在整体结构图上的注解,找到了这个麻状的详细分解图。
然后他顿时就瞪大了眼睛。
他终于知道自己在哪,看过类似的结构了。
这是……
仿星器!
这结构,太像可控核聚变的重要技术路线——仿星器的磁场环了!
开什么玩笑?!